电子工厂离不开洁净的生产环境。总的来说,电子工厂生产工艺对净化工程环境的要求特别专业,可用大、净、精、纯、严五个字来形容。
净:电子工厂,尤其是微电子(IC)前工序和光电子(TFT-LCD)前工序的洁净室对环境洁净度的要求越来越净。
纯:大规模集成电路前工序对生产用的高纯水、高纯气体以及高纯溶剂的纯度要求越来越纯。
严:电子净化工程生产不仅对环境的洁净度,温、湿度有严格的要求,同时对环境的声、光、电、磁、振等都有严格的要求。尤其微电子生产,对环境的分子级污染提出了新的严格的要求。